021-34786180
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特点:
最大垂直行程1200毫米(z行程)
应用于50 - 450 mm晶圆(2 ~ 18”)
多达3-step伸缩式应用
单、双臂机器人
ODM或OEM供应
单、双臂/多片型
Class 1 洁净度
多种末端执行器:真空吸爪，边缘夹持器
平移（Track）轴，Mapping Sensor（可选）
可按需求时进行定制
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模型 |
Tele Single (2-step) |
Tele Dual (2-step) |
Tele Single (3-step) |
Tele Dual (3-step) |
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ASR-**10-20 |
ASR-**20-20 |
ASR-**10-30 |
ASR-3**20-30 |
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性能 |
运动范围 |
R1,R2 轴 (伸展) |
567毫米 |
567毫米 |
730毫米 |
730毫米 |
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T 轴 (旋转) |
370度 |
370度 |
370度 |
370度 |
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Z 轴 (上/下) |
600毫米 |
600毫米 |
1200毫米 |
1200毫米 |
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|
最大速度 |
R1,R2 轴 (伸展) |
800 毫米/秒 |
800 毫米/秒 |
800 毫米/秒 |
800 毫米/秒 |
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T 轴 (旋转) |
240 度/秒 |
240 度/秒 |
240 度/秒 |
240 度/秒 |
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|
Z 轴 (上/下) |
600 毫米/秒 |
600 毫米/秒 |
600 毫米/秒 |
600 毫米/秒 |
||
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重复定位精度 |
R1,R2 轴 (伸展) |
≤ ±0.1毫米 |
≤ ±0.1毫米 |
≤ ±0.1毫米 |
≤ ±0.1毫米 |
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T 轴 (旋转) |
≤ ±0.02度 |
≤ ±0.02度 |
≤ ±0.02度 |
≤ ±0.02度 |
||
|
Z 轴 (上/下) |
≤ ±0.1毫米 |
≤ ±0.1毫米 |
≤ ±0.1毫米 |
≤ ±0.1毫米 |
||
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平均故障间隔时间 |
≥ 8000 小时 |
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平均修复时间 |
≤ 2 小时 |
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通用 |
晶圆尺寸 |
8 -12 英寸 |
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控制轴 |
4 |
5 |
5 |
6 |
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手臂类型 |
单臂 |
双臂 |
单臂 |
双臂 |
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end effect厚度 |
< 3毫米 |
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洁净度 |
Class 1 |
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负载 |
1kg(包含夹爪) |
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重量 |
60 千克 |
64 千克 |
80 千克 |
84 千克 |
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教导器线长度(机器人控制) |
3米(标准) |
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实用程序 |
功率(控制器) |
单相 AC220±10%, 50/60Hz |
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洁净空气 |
大于 0.4-0.5MPa,¢ 4mm |
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真空 |
小于-50kPa |
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环境 |
工作环境温度 |
0-40°C |
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