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450mm Thermal Curing System
Fortrend公司于2006年推出了第一套超净(优于10级)晶圆热固化系统，用于晶圆表面的热处理。超过10年的现场检验和改进，Fortrend推出了3DIC热固化系统。Fortrend不仅提供标准和定制的热固化模块，而且还用齐全的配置和较低的费用提供全自动的晶圆传输系统。
Fortrend 450 degree Thermal Chanber使用优越的创新技术
独特的氮气加热器:其1级热氮气使晶片加热更加均匀。
4个加热区控制加热室均匀性。
排气管周围有加热器，避免蒸汽冷凝在管。
烘箱系统集成了微型环境、450mm load port、晶圆机器人、烘箱及控制单元。
建立在现场已验证的300mm晶圆烘箱技术。
应用范围:3DIC烘烤、退火、脱湿、回流、热加工。
工作范围广:环境+20~450℃。
全自动。
简易的操作界面。
烘烤室用ISO 4级(联邦标准10级)
更好的10级烤箱系统
气体输入:N₂3气体
氮消耗:0 ~ 250升/分钟
温度均匀性:±3.5°C
配方编号:可编程
晶片凸块联锁
晶圆与机械手臂的前凸检测
主控制器:IPC产品中心 
行业应用
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