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光罩开盒器 DeskTop Reticle SMIF Pod Opener
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光罩开盒器 DeskTop Reticle SMIF Pod Opener
PLM 200R
Fortrend POM-150R是一款自动的SMIFpod，设计用于打开150mm单个和多个光罩SMIFpod。当pod盖子被打开后，光罩片仍在pod table上，操作人员可以安全地操作。POM是专为tabletop应用而设计的全电动系统，可快速安装和拆卸。一种可选的专利基片测绘技术，能在基片处理过程中防止破损。带有操作联锁的rsticle突出传感器，防止pod关闭在突出的基片上。pod传感器检测SMIFpod的存在，防止错误地影响设备和fab之间的气流。
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产品介绍
产品参数
其他产品
  • 占地面积小，节省宝贵的厂房面积
  • 1级洁净，主动自洁气流设计。
  • 将晶圆盒置于密封的迷你环境中
  • 所有电气系统均配有现场可编程应用软件
  • 四个可编程联锁信号
  • 晶片盒电流传感器
  • Pod传感器
  • 晶圆映射传感器(现有，交叉槽)
  • 符合SEMI E19.4, S2和S8标准，并通过CE认证
  • 直接安装到加工工具或手动装载端口适配器(300毫米螺栓接口到SEMI E63)转换open station到SMIF兼容。
  • 可选的RFID阅读器/写入器
  • 可选的红外读/写

规格

Pod 尺寸

283mm W x 292mm D x 254mm H

尺寸大小

365W x 421D x770H mm

升降

240 mm

装载容量

5.4kg

Pod 界面

SEMI E19.4

电源需求

110V/220V 3A/1.4A 50/60Hz (24 VDC Optional)

重量

23kg without Pod

打开 Pod

< 12 seconds

关闭 Pod

< 10 seconds

MCBF

50,000 cycles

MTTR

< 1 hour

Pod PIP 传感器

1 set

Wafer Protrusion传感器

1 set

Cassette Present传感器

1 set

Cassette Protrusion 传感器

1 set

Wafer Mapping 传感器

1 set

通讯

并行 和/或 串联

通讯 (可选)

EIA-RS232C(SECS I/II)

ID device(可选)

RFID module or IR Link

Operation

本地操作或主机通信

Optional

负载端口适配器
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