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光罩检测模组 Mask/Reticle Inspection System
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光罩检测模组 Mask/Reticle Inspection System
强光检测模组 Bright Light Inspection Module
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产品介绍
产品参数
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•完整的工作台允许操作的mask 为3轴

•强光灯

•可编程检查例程

•手动控制mask方向。

•操作人员视图区域建在工具的一侧，在明亮的灯光下局部控制操作光罩片。

•可选配安装于工位上方的摄像头，通过高清屏幕捕捉，记录光罩片和薄膜状态

•可选的高清晰度实时视频可看到mask表面。

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