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类别 |
具体内容 |
规格 |
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晶圆 |
晶圆尺寸 |
8/12寸 SEMI 标准晶圆 |
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寻边时间 |
≤3.2 秒(12寸晶圆时) |
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晶圆尺寸偏差范围 |
小于 ±5 mm |
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晶圆夹持方式 |
背夹式真空吸盘 |
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晶圆夹持检测 |
带有数字显示的真空传感器 |
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精度 |
中心方向精度 |
±0.1 mm |
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旋转精度 |
±0.1° |
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通用规格 |
电源 |
24V DC±10%,5A |
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真空环境 |
Less than -50kpa |
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通讯 |
Serial R2-232C,parallel I/O |
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其他 |
重量 |
About 6 kgf |
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用户界面 |
RS232C |
产品中心 
行业应用
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