021-34786180
sales@fortrend.com.cn
SIO-300-200是一个非常成功的TC室内系统。其超净热处理室明显提高了产品收率。极低的燃气运行成本和能耗明显降低了运行成本。这使得它成为最受欢迎的工艺烤箱系统。
SIO-300-200可用于大气固化和真空固化。对于大气固化，其洁净度可轻松达到10级，温度均匀度+/- 3度。它温和的加热方式使晶圆片非常安全——晶圆片表面没有过热现象。真空固化时，在一定条件下，其清洁度基本达到1级，温度均匀度达到+/- 3度。
应用程序:
3 DIC固化
Photo-resist烘干
祛湿
回流
退火
无氧烘干(真空)
有毒蒸汽移除(真空)
其他热处理过程
烘箱系统集成了微型环境、300mm load ports、晶圆机器人、casstte机器人、烘箱及控制单元。
现场已证实的应用程序:3DIC烘烤，光刻胶烘烤，大部分去除，回流和热加工。
200mm casstte手动/自动装载。
工作范围广:环境温度~250℃。
全自动。
简易的操作界面。
烘烤室需10级。
更好的10级烤箱系统。
工业气体输入:N₂3气体。
氮的消耗:0 ~ 50 l / min
真空操作压力:10torr ~近大气
大气运行压力:~840 torr
温度均匀性:±3.5°C
配方编号:可编程
晶片碰撞互锁
晶圆与机械手的前凸检测
主控制器:IPC——Windows 7
模块化设计将调整、维护和停机时间降到最低
S2, S8兼容
|
大气模型 |
SIO-300-200-02 |
SIO-300-200-03 |
SIO-300-200-3H |
SIO-300-200-4 |
|
真空模型 |
SIO-300-200-02-Vac |
SIO-300-200-03-Vac |
SIO-300-200-3H-Vac |
SIO-300-200-4-Vac |
|
烘箱最高温度 |
160℃ |
160℃ |
220℃ |
250℃ |
|
晶圆走向 |
垂直 |
垂直 |
水平 |
水平 |
|
烘箱数量 |
1 |
2 |
2 |
2 |
|
晶圆机器人 |
单臂 |
单臂 |
单臂 |
单臂 |
|
末端执行器 |
单片 |
单片 |
单片 |
单片 |
|
Cassette机器人 |
垂直cassette 传输 |
垂直cassette 传输 |
水平cassette 传输 |
水平cassette 传输 |
|
Load ports数量 |
2 |
4 |
4 |
4 |
|
V-turn |
垂直 |
垂直 |
水平 |
水平 |
|
冷却站 |
1 |
3 |
3 |
3 |
产品中心 
行业应用
扫一扫
关注富创官方微信
