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光罩传输系统 Lamina Series Reticle Exchange
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光罩传输系统 Lamina Series Reticle Exchange
Lamina 202
Fortrend提供了一系列EUV & 193光罩处理自动化解决方案，以满足当今行业不断发展的清洁标准的要求。
Lamina 200系列分选机系统提供了解决方案，从存储和运输箱到SMIFpod，包括Mask houses 和 FAB floor。系统采用模块化设计，以满足客户需求。光罩片的转移是在ISO 1级的迷你环境中进行的。
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产品介绍
产品参数
其他产品

•用于FAB光罩室，自动将蛤壳运输/存储箱的光罩片转移到SEMI E111 SMIFpod。

•将新的光罩片从mask shop或存储区转移到SMIFpod

•将光罩片运回到mask shop或存储区

 

使用Fortrend Lamina 202 Mask Sorter，提高Mask在SMIFpod和运输箱之间的运输效率和产量。

•将新的mask转移到客户的发货箱。

•将客户退回的mask转移到SMIFpod进行处理。

•在制造或维修过程中旋转或翻转mask，使mask在SMIFpod中定位，为下一工序做好准备。

•PLUS 500 G4 SMIF Arm Load port，用于将光罩片从Shipping转移到SMIFpod。

•集成机器人手臂能让mask旋转90°、180°或270°，并在SMIF pod或Shipping Box中翻转mask以获得正确的方向。

•SEMI E111 SMIFpod

•toppan、POZZETTA或DMSClam Shell shipping openers

•SEMI S2， S8， CE

•ISO 1级清洁

•占用面积小24 " (610mm)×45 " (1143mm)×72 " (1829mm)

 

选项:

RFID读写

条码阅读器(1D &2D)

SECS/GEM

CIM连接

GUI用户界面

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