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上海富创得成功研发的改良版第一部12寸晶圆储存式传输机（WTS STOCKER），搭配晶圆清洗制程专用设备，实现晶圆高效传输功能；
同年12月，上海富创得在平湖成立子公司“浙江大族富创得科技有限公司”，作为国内第二个生产基地，并于2022年11月投产，进一步提升的富创得产能和优势。
公司简介
上海大族富创得科技股份有限公司总部坐落于上海市闵行区万芳路555号，是一家在半导体行业有着超过40年技术积累和经验的公司，专注于半导体自动化传输领域，主要产品有标准机械界面、晶圆分选机、晶圆自动传输设备、超洁净光罩片自动传输系统晶圆运输机器人和晶圆自动存储系统等。
公司在上海有5000办公区域和2000平米洁净生产车间，在浙江平湖市张江长三角科技城有12000平米生产基地。深耕40余载用心服务客户，为客户提供高效可行、品质优良、性能稳定和售后完善的全方位解决方案。
发展历程
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2021
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2019上海富创得研发生产业内第一部人形手臂AGV机器人（自动激光导航），配合便携式晶圆载具存储系统，可实现晶圆厂的晶圆载具的无人自动搬运和存储，替代国外垄断的天车搬运和存储系统。
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2018上海富创得自主研发生产了业内第一部便携式货架晶圆载具存储系统（p-Rack Stocker），打破了晶圆载具存储系统一直被国外供应商垄断的局面。
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20173月，在上海成立“上海大族富创得科技有限公司”，成为大族激光集团的子公司，以上海富创得为主要研发和生产基地，项目总投资2亿元，第一期投入5000平方米厂房使用。
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2016美国富创得研发出业内第一部用于光刻制程的自动开盒器和前端自动化模块（Reticle Load Port），开始为7nm以下的先进制程提供自动化设备；
同年6月，美国富创得工程公司被大族激光集团收购。 -
2011美国富创得研发出业内第一部ISO-1洁净等级的光罩标准机械界面（ISO-1 Reticle SMIF），开始从事光刻高端先进制程的自动化传输设备的研发和生产。
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2006富创得研发出业内第一部零湿度的光罩裸片自动化存储系统，为半导体高端客户定制光罩裸片存储自动化设备；
同年10月，富创得进入中国，在沈阳作为富创得的主要生产制造基地，以SMIF及晶圆自动传输设备生产和销售为主，专注于国内半导体市场。 -
2002富创得研发出业内第一部光罩标准机械界面（Reticle SMIF），开始制造光刻机前端光罩片/掩膜版的自动化传输设备。
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1996富创得研发出业内第一部8寸标准机械界面（200mm SMIF），并注册国际专利，成为第一家SMIF原厂设备制造商。
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1980富创得研发出业内第一部晶圆垂直批量传输设备（WTS），在半导体行业销售20余年，全球销售超过1500台，市占率超过50%。
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1979富创得（Fortrend Engineering）在美国硅谷成立，专业从事半导体晶圆传输设备的研发和制造。
- 2021
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2011
- 2006
- 2002
- 1996
- 1980
- 1979
