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光罩检测模组 Mask/Reticle Inspection System
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光罩检测模组 Mask/Reticle Inspection System
掩模厚度测量模块 Mask Thickness Measurement Module
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集成模块用于测量Blank Mask的厚度

精密测量传感器，以验证光罩的厚度。

可编程测量多达16个不同的位置的mask表面。

在每个位置记录厚度。

计算了mask的平均厚度。

静态测量重复性µm≤0.05

装载卸载测量重复性µm≤0.2

传感器分辨率:0.02µm

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