Fortrend从1997年开始提供晶圆和reticle sorter，在全球范围内都有安装(中芯国际安装了一台reticle sorter)。
Fortrend晶圆sorter是一种经过现场验证的高通量、可靠的分选系统，在价格和性能上具有很强的竞争力
比一级(ISO-3)洁净
灵活的ID读取系统符合SEMI M12, M1.15
单臂和双臂机器人的灵活配置
统一的sorter框架，支持200mm和300mm的应用程序，允许在200mm和300mm之间轻松转换(升级)，双端口，3端口和4端口配置
可选RFID/智能标签/条形码批次跟踪系统
可选200/300mm晶圆混合分选系统
可选电源中断UPS和Raid-5数据库保护
TUV公司认证S2/S8/S9/S22/CE(见证书)
300mm输送设备完全满足SEMI标准(包括但不限于E84/E47.1/F47)
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晶圆尺寸 |
SEMI 标准 150mm晶圆 |
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洁净度 |
Class 1 @ 0.1µm (PTFE) |
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产量（通过双臂机器人） |
>550 WPH (无 OCR 和Aligner) >250 WPH (有 OCR 和Aligner) |
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末端执行器 |
真空片或边缘钳 |
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机器人重复精度 |
± 0.1mm |
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校准器重复精度 |
± 0.1mm |
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通讯 |
HSMS or SECS I / SECS II 信息 |
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平均修复时间 |
< 2 小时 |
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平均故障间隔时间 |
>4,000 小时 |
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OS |
Window XP 专业或兼容 |
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晶圆尺寸 |
SEMI 标准 200mm晶圆/ SEMI 标准 300mm晶圆 |
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设备要求 |
220 V, 50/60 Hz, 15A,3根电线, 单相 |
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真空要求 |
-90kPa (min) |
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