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光罩传输系统 Lamina Series Reticle Exchange
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光罩传输系统 Lamina Series Reticle Exchange
Lamina 204
Fortrend提供了一系列EUV & 193光罩处理自动化解决方案，以满足当今行业不断发展的清洁标准的要求。
Lamina 200系列分选机系统提供了解决方案，从存储和运输箱到SMIFpod，包括Mask houses 和 FAB floor。系统采用模块化设计，以满足客户需求。光罩片的转移是在ISO 1级的迷你环境中进行的。
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产品介绍
产品参数
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•为了实现这一目标，Fortrend建议sorter系统使用隔离室，以减少从装运箱到mask处理区域的污染。

•全自动mask/reticle传输系统

•ISO1级清洁

•集成离子发生器，满足SEMI E78 ESD“Level1”标准

•符合SEMI S2/S8标准

•旋转/翻转模块(将mask0°旋转到360°;将mask 0°旋转到180°)

•自动開合器:150mm和200mm SMIFpod(单件和多件)、ASML、尼康、佳能、HOYA、Toppan、DNP、TMC、ShinEtsu、DMS等，可任意组合使用。

•其他选项:BCR/OCR阅读器、RFID读写、Turn tables、SECS/GEM接口

Fortrend提供了一系列不同配置的sorter，以满足客户的最终转移要求、楼层面积和特殊设计需求。

对于Lamina 200系列sorter系统，Fortrend认识到，在处理EUV mask时，需要在系统内保持高标准的清洁，并且需要处理不符合ISO 1级清洁要求的运输箱中的标准mask。

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