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Lamina系列光罩EFEM
Lamina 200 Series EFEM
Each of the EFEM combines one or more of the Fortrend Reticle Moudles together with the Fortrend PLUS G4 SMIF arms or Reticle Scara Robot and End Effecter to suit the End user or OEM manufactures requirements.
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Lamina 200 Series EFEM
Each of the EFEM combines one or more of the Fortrend Reticle Moudles together with the Fortrend PLUS G4 SMIF arms or Reticle Scara Robot and End Effecter to suit the End user or OEM manufactures requirements.
Fortrend's engineerig department works closeliy with OEM's to design and build the EFEM's to their requirements.
 
Lamina 200 Series EFEM
Each of the EFEM combines one or more of the Fortrend Reticle Moudles together with the Fortrend PLUS G4 SMIF arms or Reticle Scara Robot and End Effecter to suit the End user or OEM manufactures requirements.
Fortrend's engineerig department works closeliy with OEM's to design and build the EFEM's to their requirements.
 
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