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光罩传输系统 Lamina Series Reticle Exchange
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光罩传输系统 Lamina Series Reticle Exchange
Lamina 206
Fortrend提供了一系列EUV & 193光罩处理自动化解决方案，以满足当今行业不断发展的清洁标准的要求。
Lamina 200系列分选机系统提供了解决方案，从存储和运输箱到SMIFpod，包括Mask houses 和 FAB floor。系统采用模块化设计，以满足客户需求。光罩片的转移是在ISO 1级的迷你环境中进行的。
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产品介绍
产品参数
其他产品
QC tool designed for mask house
ISO Class 1 cleanliness
Support Reticle SMIF POD, shipping and storage box
Modular Design
Vision system: Bright light Inspection Station (BLIS)
Read station (Barcode,OCR, ID)
Reticle Scara Robot and Turn-Flip Robot

 
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