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光罩检测模组 Mask/Reticle Inspection System
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光罩检测模组 Mask/Reticle Inspection System
缺口识别模组 Notch Identification Station
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The Notch Identification system采用一套识别摄像头，对每个SEMI P1和P37的光罩片进行识别，并将识别倒角磨入墙角。利用该系统逻辑，可以对空白mask进行正确的定位，以适应今后的操作。

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