021-34786180
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标准特征
兼容 SEMI 300mm Foup Loadport标准E15.1、E47.1、E57、E62、E64、E83、E110、S2、S8
符合SEMI E63 BOLTS-M 和 E92 BOLTS光接口标准
Load port状态感知功能
Foup Present
Foup Placement
Foup Dock
Foup Door Present
Wafer Protrusion
Finger pinch sensor
Vacuum Pressure
模块化设计将降低调整、维护和停机的时间
RS232通信接口
Mapping功能
Class 1 洁净度
S2S8认证
可选设备:
Optical PIO sensor
Info Pad sensor
N2 puege interface
200mm adaptor
200mm wafer mapping200mm晶圆casstte RFID读写
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型号 |
LO-3100 |
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晶圆尺寸 |
300mm |
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Carrier 类型 |
300mm FOUP Compile witnSEMI 47.1 |
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尺寸 |
472(W)X493(D)X1386(H) |
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重量 |
66kg |
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安装 |
安装点 |
900mm±10mm |
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螺栓 |
ISO M8-6H |
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清洁 |
Class 1 @0.1μm |
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操作时间 |
With mapping FOUP Open:17 sec FOUP Close:10 sec |
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通讯 |
Serial RS-232,Parallel I/O |
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RFID 读卡器、写入器 |
TI 134.2kHz |
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实用程序需求 |
用电 |
+24VDC,5A |
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真空 |
-80kpa |
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CDA |
5kg/cm² |
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产品中心 
行业应用
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