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光罩物料存储系统 Foup Stocker
富创得Stocker由标准存储架单元拼接而成，可以根据客户现场尺寸限制和要求进行自由组合，存储位reader和顶部FFU也可以根据客户需求进行选配； 可以应用于各种晶圆片和光罩片载具的存储，并可以根据需求对载具和Stocker内部进行气体填充； 可与AMHS系统和AGV进行对接，也可以整合Embedded Sorter。
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项目 |
技术指标 |
规格 |
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尺 寸 |
整体尺寸 |
1600(W) x 8280(L) x 4620(H) mm |
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地板以上尺寸 |
1600(W) x 8280(L) x 4000(H) mm |
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地板以下尺寸 |
1600(W) x 7280(L) x 620(H) mm |
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存储位 |
最大存储位 |
216 FOUPs (含6个移动储位) |
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洁净等级 |
内部洁净度 （Stocker顶部直接与净房顶部FFU对接） |
ISO5级（Class100） |
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传输时间 |
最长存FOUP时间（从入口工位到最远存储位） |
52秒 （以极限速度值的80%计算） |
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最长取FOUP时间（从最远存储位到出口工位） |
59秒（以极限速度值的80%计算） |
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性能参数 |
正常工作时间（Up Time） |
≥ 99% |
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平均故障间隔时间（MTBF） |
≥ 2160 小时 |
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平均故障修复时间（MTTR） |
≤ 45分钟 |
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平均保养间隔时间（MTBC） |
≥6个月 |
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通 讯 |
可支持的通讯接口及通讯协议 |
Serial RS-232、 Parallel I/O SECSII/HSMS |
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可选项 |
与AGV对接功能 |
E84功能 |
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