随着消费电子/汽车/电信和医疗保健等各个行业对半导体的需求不断增长，半导体的产能和质量成为影响行业竞争力的重要因素。半导体设备向更高效/高精/自动化发展的过程中，晶圆自动传输机器人（ROBOT）扮演着至关重要的角色。这种专业设备不仅提高了生产效率，还确保了晶圆在搬运过程中的安全与精准，是实现高效、高质量生产的关键所在。

       根据QYR（恒州博智）的数据统计及预测，2023年全球半导体晶圆传输机器人市场销售额达到了13.35亿美元，预计2030年将达到17.91亿美元，年复合增长率（CAGR）为4.9%（2024-2030） 。

晶圆自动传输机器人(ROBOT)

       半导体机械手，也叫半导体晶圆自动传输机器人（Semiconductor Wafer Transfer Robots），是半导体制造过程中的关键组件，这些机械手专为洁净室环境而式设计，需在狭小的空间中完成对晶圆的精准定位和运输并集成到现有的半导体制造系统中，他们通常采用紧凑的模块化设计，集成先进的传感器、机器人视觉系统和人工智能算法，确保半导体制程工艺的效率/精准性和质量，同时最大限度减少晶圆的污染风险和人为错误。该组件广泛应用于集成电路、芯片制造等半导体前段工序，如磨削、抛光、刻蚀、扩散、沉积（PVD 和 CVD）、涂布、显影、光刻、清洁、离子注入、装配、包装和测试等。
 

Global Semiconductor Wafer Transfer Robots Market Share By Types,2031
 

常见的晶圆自动传输机器人拾取种类

       当前市场上的晶圆自动传输机器人主要采用真空吸附式、边缘夹持式、夹持托举式、接触式伯努利、非接触式伯努利等多种拾取技术。这些技术各有特点，如真空吸附适合背部接触时晶圆且翘曲度较小的工况；伯努利非接触式则适用于正反面都不允许接触的晶圆且需结合晶圆材质，这些技术长期被日本、韩国和北美等国家的企业所垄断。

      2020年后，中国本土半导体行业进入爆发式发展期，半导体运输设备企业因此迅速崛起，上海大族富创得科技股份有限公司便是其中之一，通过技术创新和成本优势逐渐扩大市场份额。据相关数据显示，国产晶圆传输机器人在国内市场占比已从2010年的不足5%增长到现在的约30%，呈现出强劲的发展势头。
 

大族富创得ROBOT厚积薄发

        上海大族富创得科技股份有限公司拥有45年半导体行业经验和技术积累，公司成立之初便专注于半导体自动化传输设备及核心部件的研发和生产，于1996年率先研制出晶圆自动传输机器人（ROBOT），在行业中长时间验证，得到了多数头部公司的认可。2023年上海大族富创得重新布局，将晶圆传输（ROBOT/LOAD PORT/ALIGNER）等核心部件做为公司核心战略，成立无锡富创得智能科技有限公司。
 

       大族富创得厚积薄发，凭借丰富的技术积累和长时间的验证使得大族富创得自动传输机器人（ROBOT）实现快速换抓，兼容多种晶圆尺寸的同时保持高效、高精、高稳定性的特性。产品和核心组件均在富创得生产基地完成，大幅度降低运营成本和交货周期，实现国产化制造，为行业提供稳定可靠的产品。

       更多核心布局请关注上海大族富创得/无锡富创得智能科技公众号！