设备前端模块EFEM(Equipment Front End Module)是半导体制造中的一个重要模块，通过微环境保证洁净要求实现晶圆的自动上下料，连接了前段物流和后段物流，起到了传递物料、控制机台、协调工艺流程的作用。

（配图：大族富创得EFEM生产车间图）
 

EFEM方案相比传统的半导体制造设备具有以下几个优势:
 

1.提高生产效率

EEEM方案通过自动化控制和监控，可以实现品圆的快速传递和准确定位，从而提高生产效率。它可以减少人工操作的时间和错误，提高制造过程的一致性和稳定性。

2.提高制造质量

EFEM方案通过精确的控制和监控，可以减少晶圆在传递过程中的损伤和污染，从而提高制造质量。

3.降低制造成本

EFEM方案通过自动化控制和监控，可以减少人工操作的工时和成本，降低制造过程的人力资源需求。它可以提高设备的利用率和效率，降低设备的维护成本和能耗。

4.支持工厂智能化

EFEM方案的自动化控制和监控功能为工厂的智能化提供了基础。它可以与其他设备和系统进行数据交换和通信，实现信息共享和协同操作，提高工厂的整体效益和竞争力。

EFEM主要包括圆装载系统（Loadport）、晶圆运输机器人（Robot）和晶圆对准器（Aligner）三大部件），其中：

（配图：大族富创得三大件合集）
 

晶圆运输机器人（Robot）是EFEM的核心部件，它能够准确地抓取和放置晶圆，并将其定位到指定位置;

圆装载系统（Loadport）通常由特殊材料制成，具有良好的耐高温和耐化学腐蚀性能，到了承载和保护品圆的作用；

晶圆对准器（Aligner）通过使用光学系统、算法和精密机械控制，确保晶圆的位置及方向，方便后续工艺的进行。
 

大族富创得核心三大件实现自主研发，其设备及其核心组件均由大族富创得生产基地完成，大幅度降低运营成本和交货周期，实现国产化制造。

除了在半导体制造中的应用，EFEM 还应用于光伏制造、平板显示制造、生物医药（微芯片/生物芯片）等领域。它在这些领域中的应用可以实现品圆、太阳能电池片、液晶面板等产品的快速制造和高质量量产。

大族富创得EFEM：

（配图：大族富创得EFEM应用半导体工艺场景图）
 

大族富创得凭借在半导行业45年行业经验及积累，其EFEM设备已广泛应用到半导体制造中的各个工艺制程中。

（配图：从左至右AOI检测测试EFEM、槽式清洗机EFEM、Wafer EFEM、PECVD EFEM）
 

具有高效、稳定、可靠的特性，同时还具备良好的可扩展性、灵活性和客制化服务能力。可对接不同类型的多制程设备，并可针对制程需求客制化定制，多种拾取方式和Loadport组合，多样化客制选项，满足各种工况需求。在未来的发展中，大族富创得EFEM将不断优化改进，共同推动半导体制造技术的进步。